高真空多元蒸着装置　　型式：GET-TF100-1		有機材料精製装置
高真空多元蒸着装置　　型式：GET-WB6		薄膜成膜用電子ビーム蒸着装置 型式:GET-TF100-2EB
管状電気炉		小型光実験用真空チャンバー
超高真空装置		高温アニール装置
真空熱処理装置		化学気相成長（ＣＶＤ）装置
昇華精製装置		分子線エピタキシー（ＭＢＥ）装置
ハイクラス汎用蒸着装置		多目的大型真空チャンバー
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