構成：　ロードロック室＋処理室 　　　　　自動搬送 排気：　ロードロック室　ＴＭＰ＋ＲＰ 　　　　　処理室　　　　　ＴＭＰ＋ＲＰ 　　　　　自動排気 温度制御：　ＰＩＤプログラムコントロール
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