主な仕様 真空度 １０×−５Pa以下 排気系 ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプ プレートヒーター 最高温度　４００℃（さらに高温仕様も可能） PID制御 回転にも対応できます シャワーノズル MFCにより流量制御されたガスを基板面内均一に供給できます 材料ガス供給系 ガス供給ライン及びガス流量制御まで対応させていただきます 使用例 太陽電池開発等
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