主な仕様 ３室構成（成膜室＋搬送室＋投入室） 成膜室 ・真空度：7.5×10-9Pa以下の超高真空 ・排気系：イオンポンプ、ターボ分子ポンプ＋RP、TSP ・液体窒素シュラウド：2系統 　　　　　　　　　　　Kセル用シュラウドには工夫された仕切板装着 ・Ｋセルポート：ICF114×8 ・基板確認用窓：ICF70×2 ・基板：径　2インチ×1 　　　　温度　最高1300℃
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