主な仕様 【型式】 　EPV1000CH 【概略仕様】 装置外寸：巾1700×奥行2000×高2000 　　　　　　　架台に制御系収納 チャンバー形状：円筒横型φ1000扉 　　　　　　　内寸：φ1000×L970（直管部）（両端鏡板含めると1400） 　　　　　　　ビューポート：ICF203相当　４ヶ所 排気：TMP　450L/ｓ＋RP（或いはドライポンプ） 到達真空度：10＾-4Pa台以下 真空度調整可：例10＾-3Pa〜10＾2Pa
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