主な仕様
・蒸着室:ガラスベルジャー
・蒸着用電極:6組
・排気系:液体窒素トラップ付ターボ分子ポンプ
スクロールポンプ
・各蒸発源用シャッター取付可能
・各蒸発源専用の膜厚検出センサー取付可能
・グローブBOX取付可能
アクリル製グローブBOX装着機
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