ハイクラス汎用蒸着装置

主な仕様
・蒸着室:ガラスベルジャー
・蒸着用電極:6組
・排気系:液体窒素トラップ付ターボ分子ポンプ
     スクロールポンプ
・各蒸発源用シャッター取付可能
・各蒸発源専用の膜厚検出センサー取付可能
・グローブBOX取付可能

new アクリル製グローブBOX装着機


Home