・ MBE装置に増設 ・ 10-8Pa対応ベーカブルチャンバー ・ 光学測定その他の機能を付加することが出来ます。 ・ ここにも数十台のMBE装置設計製作の実績が活かされています。 ・ 装置一式は勿論、増設、改造等も設計製作させていただきます。
MBE装置（超高真空装置）の新規製作・追加・改造 　　・ロードロック（ストック機構・プレベーキング機構） 　　・シュラウド（増設・形状変更） 　　・マニピュレータ 　　・搬送機構（追加・搬送方式変更） 　　・排気系・制御系 　　・蒸発源
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