E型電子銃（４元回転式）を２台まで装備可能ながら、ここまでコンパクトに作り上げました。
| 成膜室 | 排気系 | ターボ分子ポンプ 油回転ポンプ |
| 到達圧力 | 10-5Pa台以下 | |
| 基板加熱・冷却機構 | 基板サイズ：2インチ相当 | |
| 最高温度：800℃ | ||
| 加熱方式：抵抗加熱あるいはランプ加熱 | ||
| 蒸発源 | クヌードセンセル×1台（シャッター付き） | |
| E型電子銃（４元回転式）×2台（シャッター付き） | ||
| 膜圧コントローラ | 水晶振動子センサー×3台 | |
| ロードロック室 | 到達真空度 | 10-5Pa台 |
| 排気系 | ターボ分子ポンプ 油回転ポンプ |
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| 搬送機構 | 磁気結合型直線導入機 |
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